擁有特征的石英水晶振子的制作方法和用途
來源：http://m.cbjur26.cn 作者：konuaer 2014年03月11
石英水晶振子在日本晶體行業(yè)中是長叫的一種關(guān)鍵詞,有時候也叫水晶振動子,就像我們在中國叫的晶振一樣,因此這兩個名詞是相同的意思,只是地域不同影響叫法不同.康華爾電子有個專欄“晶振行業(yè)博客”是介晶振的所有知識,大家有興趣的話可以多了解一點有關(guān)晶振的知識。好了題外話我也就不多說了，我們接下來要講的是《擁有特征的石英水晶振動子制作方法和用途》。
本發(fā)明的，振動型之類被利用了石英水晶振動子的制作方法有關(guān)，尤其是表面外振動的泄漏震動產(chǎn)生抑制的制造方法有關(guān)的。振動型陀螺儀傳感器等被利用音叉型水晶振動子，石英水晶片從規(guī)定的形狀的水晶振動子說出工程，水晶振動子振蕩讓為了的電極形成的工程，電極形成的水晶振動子容器實施工程等的不同制造被。特別是，水晶振動子形狀的振動決定水晶振動子的性能的影響很大，為了水晶晶片水晶振動子說出外形形成工程重要的工程。
在這里，石英振動子200的外形，在水晶晶片開始蝕刻加工等引起的外形形成工程而被砍伐。這個水晶振動子200，振動型陀螺儀傳感器和被用振動子，振動腳和2個驅(qū)動腳201，202和一條檢測腳203和有三腳架音叉型振動子。水晶振動子200，例如振動型陀螺傳感器和用于場合，如圖1所示的X軸方向彎曲振動驅(qū)動振動，Z′軸方向彎曲振動角速度外加場合被查出的振動和使用。因此，角速度外加狀態(tài)是Z′軸方向的振動不發(fā)生。
這是，水晶振動子的加工精度及水晶的各向異性等原因，驅(qū)動振動（X軸方向的振動）之外，還有水晶振動子200角速度外加狀態(tài)中發(fā)生不得面外振動（Z′軸方向的振動）發(fā)生的。
驅(qū)動腳201，202斜振動的話，檢測腳203尖端的軌跡，Z′軸方向的直線性的振動，或，X - Z′面內(nèi)橢圓振蕩。這個Z′軸方向的振動成分泄漏振動，被稱為根據(jù)這個泄漏振動檢測腳203檢測從電極是科里奧利輸出和無關(guān)的泄漏信號發(fā)生，陀螺傳感器的S / N比惡化，或溫度特性惡化等的問題有了。
此外，標(biāo)準(zhǔn)的周波數(shù)發(fā)生用等的通常用途音叉型石英振蕩器的情況，振動X軸方向彎曲振動利用著，Z′方向成分的泄漏振動水晶阻抗（CI值）的上升，使得特性的惡化導(dǎo)致的問題有了。泄漏振動，水晶振動腳截面形狀的制造的偏差的影響的。特別是，顯示，水晶振動子蝕刻制造時形成的殘水晶渣形狀的偏差的影響的。即，水晶蝕刻各向異性，結(jié)晶的方向而腐蝕速度不同的聚酰亞胺。為此，蝕刻后的水晶振動子中的振動腳的側(cè)面是均勻蝕刻不被殘有殘る渣。
一般來說，梁等彎曲考慮場合，斷面的主軸被考慮。斷面的主軸，正交2根軸組成，梁主軸同方向彎曲力的話，梁力和同方向彎曲。另一方面，與主軸不同方向彎曲力眼鏡的情況下，梁力上了方向不同的方向彎曲。水晶振動子的場合，壓電效果彎曲力花費，X軸方向。因此，主軸的一方X軸和同樣的話，振動X軸方向發(fā)生、不發(fā)生泄漏振動。另一方面，主軸是X軸偏離Z′方向傾斜的話，彎曲力的方向和主軸花費的方向一致，所以不振動Z′軸成份的斜振動，成為振動發(fā)生泄漏。主軸，其梁（振動腳）的截面形狀來決定。簡單的例子，對稱軸的斷面方面，其對稱軸及還有垂直的軸其斷面的主軸。例如，長方形的斷面的話，各邊的平分線各自主軸。
泄漏的水晶振動子振動不想得到的場合，主軸的一方X軸平行的必要。主軸是正交2根軸，所以X軸嗎Z′軸平行的對稱軸斷面有，X軸平行的主軸的存在。也就是說，截面形狀上下對稱嗎，左右對稱的話是不發(fā)生泄漏振動。
已經(jīng)說明的例子一樣地石英水晶振子制造時，有了這種對稱軸振動子得到是否考慮一下。水晶振動子潮濕蝕刻進行生產(chǎn)，振動腳側(cè)面必定有殘る殘渣。因此，這可以殘渣的方式不同，斷面的主軸被決定。水晶振動子的斷面的主軸的考慮，首先殘渣怎么會有必要考慮。殘渣的形狀，蝕刻的時間和條件不同，所以不能一概不能說，不過，大體上同樣的傾向前進，所以在這里發(fā)明者進行的實驗條件會觀察的結(jié)果的基礎(chǔ)上殘渣的方式說明會。
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以上的這些本發(fā)明的第6的制造方法來看，水晶晶片的表里兩面配設(shè)被腐蝕面罩之間互相規(guī)定量偏離配設(shè)會形成的水晶振動子的外形特徴付け了水晶振動子的泄漏振動方向的預(yù)先見積もれる，所以這個泄漏振動方向的基礎(chǔ)上具備缺口部電極驅(qū)動的腿上就能形成。這個結(jié)果，制造上的偏差的面具的錯位等影響不被再腐蝕工程所泄漏振動能調(diào)整，高精度泄漏振動被調(diào)整的水晶振動子可以提供。
電極形成過程中，驅(qū)動腳的電極預(yù)先缺口部，形成了這個缺口部調(diào)整區(qū)域再蝕刻的事，石英晶振的泄漏振動調(diào)整，晶片內(nèi)泄漏量的偏差很大等的情況，預(yù)先形成的缺口部以外，激光加工等不同電極的加工、水晶面露出的缺口部再追加形成也行。這個電極追加加工工序，例如，第4的制造方法的時候，泄漏量測量過程（步驟ST 53）后可以追加。這個電極加工工序增添，泄漏量的調(diào)整范圍，每每個元件能夠擴大，所以晶片內(nèi)的泄漏量的偏差很大的場合，有不良品和不泄漏量調(diào)整良品可能夠擴展。
另外，泄漏振動方向估計的外形而形成的特征是，加上單面口罩和口罩交錯被限定，而其他的方法也發(fā)明適用。另外，本發(fā)明實施方式提出的流程圖和外形圖等，這被限定，而是本發(fā)明的摘要，滿足的東西的話，任何變更為好。
水晶振動子的制造方法，小型高精度泄漏振動被調(diào)整的水晶振動子以低成本提供，為了能小型高精度的陀螺傳感器用水晶振動子的制造方法和頗適合。
本發(fā)明的，振動型之類被利用了石英水晶振動子的制作方法有關(guān)，尤其是表面外振動的泄漏震動產(chǎn)生抑制的制造方法有關(guān)的。振動型陀螺儀傳感器等被利用音叉型水晶振動子，石英水晶片從規(guī)定的形狀的水晶振動子說出工程，水晶振動子振蕩讓為了的電極形成的工程，電極形成的水晶振動子容器實施工程等的不同制造被。特別是，水晶振動子形狀的振動決定水晶振動子的性能的影響很大，為了水晶晶片水晶振動子說出外形形成工程重要的工程。
在這里，石英振動子200的外形，在水晶晶片開始蝕刻加工等引起的外形形成工程而被砍伐。這個水晶振動子200，振動型陀螺儀傳感器和被用振動子，振動腳和2個驅(qū)動腳201，202和一條檢測腳203和有三腳架音叉型振動子。水晶振動子200，例如振動型陀螺傳感器和用于場合，如圖1所示的X軸方向彎曲振動驅(qū)動振動，Z′軸方向彎曲振動角速度外加場合被查出的振動和使用。因此，角速度外加狀態(tài)是Z′軸方向的振動不發(fā)生。
這是，水晶振動子的加工精度及水晶的各向異性等原因，驅(qū)動振動（X軸方向的振動）之外，還有水晶振動子200角速度外加狀態(tài)中發(fā)生不得面外振動（Z′軸方向的振動）發(fā)生的。
驅(qū)動腳201，202斜振動的話，檢測腳203尖端的軌跡，Z′軸方向的直線性的振動，或，X - Z′面內(nèi)橢圓振蕩。這個Z′軸方向的振動成分泄漏振動，被稱為根據(jù)這個泄漏振動檢測腳203檢測從電極是科里奧利輸出和無關(guān)的泄漏信號發(fā)生，陀螺傳感器的S / N比惡化，或溫度特性惡化等的問題有了。
此外，標(biāo)準(zhǔn)的周波數(shù)發(fā)生用等的通常用途音叉型石英振蕩器的情況，振動X軸方向彎曲振動利用著，Z′方向成分的泄漏振動水晶阻抗（CI值）的上升，使得特性的惡化導(dǎo)致的問題有了。泄漏振動，水晶振動腳截面形狀的制造的偏差的影響的。特別是，顯示，水晶振動子蝕刻制造時形成的殘水晶渣形狀的偏差的影響的。即，水晶蝕刻各向異性，結(jié)晶的方向而腐蝕速度不同的聚酰亞胺。為此，蝕刻后的水晶振動子中的振動腳的側(cè)面是均勻蝕刻不被殘有殘る渣。
一般來說，梁等彎曲考慮場合，斷面的主軸被考慮。斷面的主軸，正交2根軸組成，梁主軸同方向彎曲力的話，梁力和同方向彎曲。另一方面，與主軸不同方向彎曲力眼鏡的情況下，梁力上了方向不同的方向彎曲。水晶振動子的場合，壓電效果彎曲力花費，X軸方向。因此，主軸的一方X軸和同樣的話，振動X軸方向發(fā)生、不發(fā)生泄漏振動。另一方面，主軸是X軸偏離Z′方向傾斜的話，彎曲力的方向和主軸花費的方向一致，所以不振動Z′軸成份的斜振動，成為振動發(fā)生泄漏。主軸，其梁（振動腳）的截面形狀來決定。簡單的例子，對稱軸的斷面方面，其對稱軸及還有垂直的軸其斷面的主軸。例如，長方形的斷面的話，各邊的平分線各自主軸。
泄漏的水晶振動子振動不想得到的場合，主軸的一方X軸平行的必要。主軸是正交2根軸，所以X軸嗎Z′軸平行的對稱軸斷面有，X軸平行的主軸的存在。也就是說，截面形狀上下對稱嗎，左右對稱的話是不發(fā)生泄漏振動。
已經(jīng)說明的例子一樣地石英水晶振子制造時，有了這種對稱軸振動子得到是否考慮一下。水晶振動子潮濕蝕刻進行生產(chǎn)，振動腳側(cè)面必定有殘る殘渣。因此，這可以殘渣的方式不同，斷面的主軸被決定。水晶振動子的斷面的主軸的考慮，首先殘渣怎么會有必要考慮。殘渣的形狀，蝕刻的時間和條件不同，所以不能一概不能說，不過，大體上同樣的傾向前進，所以在這里發(fā)明者進行的實驗條件會觀察的結(jié)果的基礎(chǔ)上殘渣的方式說明會。
以上的這些本發(fā)明的第6的制造方法來看，水晶晶片的表里兩面配設(shè)被腐蝕面罩之間互相規(guī)定量偏離配設(shè)會形成的水晶振動子的外形特徴付け了水晶振動子的泄漏振動方向的預(yù)先見積もれる，所以這個泄漏振動方向的基礎(chǔ)上具備缺口部電極驅(qū)動的腿上就能形成。這個結(jié)果，制造上的偏差的面具的錯位等影響不被再腐蝕工程所泄漏振動能調(diào)整，高精度泄漏振動被調(diào)整的水晶振動子可以提供。
電極形成過程中，驅(qū)動腳的電極預(yù)先缺口部，形成了這個缺口部調(diào)整區(qū)域再蝕刻的事，石英晶振的泄漏振動調(diào)整，晶片內(nèi)泄漏量的偏差很大等的情況，預(yù)先形成的缺口部以外，激光加工等不同電極的加工、水晶面露出的缺口部再追加形成也行。這個電極追加加工工序，例如，第4的制造方法的時候，泄漏量測量過程（步驟ST 53）后可以追加。這個電極加工工序增添，泄漏量的調(diào)整范圍，每每個元件能夠擴大，所以晶片內(nèi)的泄漏量的偏差很大的場合，有不良品和不泄漏量調(diào)整良品可能夠擴展。
另外，泄漏振動方向估計的外形而形成的特征是，加上單面口罩和口罩交錯被限定，而其他的方法也發(fā)明適用。另外，本發(fā)明實施方式提出的流程圖和外形圖等，這被限定，而是本發(fā)明的摘要，滿足的東西的話，任何變更為好。
水晶振動子的制造方法，小型高精度泄漏振動被調(diào)整的水晶振動子以低成本提供，為了能小型高精度的陀螺傳感器用水晶振動子的制造方法和頗適合。
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